01
无尘室的定义
无尘室（CleanRoom）指空气无尘度达到规定水平的受控空间。其功能是将空气中的颗粒子放入空气中。.有害空气.细菌排除细菌等污染物，室内无尘.温度.湿度.室内压力.气流速度和气流分布.噪音.振动.照明和静电控制在一定的要求范围内。无尘室的主要功能是控制产品接触到的空气的无尘度、温度和湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产.制造，这个空间我们称之为无尘室。
森拉普尔实验室建设案例实拍图
根据国际惯例，无尘净化水平主要根据每立方米空气中粒子直径的标准粒子数量来确定。也就是说，所谓的无尘不是没有灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒比我们常见的粉尘小，但对于一些精密产品的生产，如光学行业，即使是一点灰尘也会产生很大的负面影响，所以无尘是光学行业产品生产的必然要求。
02
无尘室的结构组成
无尘室由以下系统组成（系统分子中不可缺少），否则无法形成完整、优质的无尘室：
(1)天花板系统:包括吊杆.纲梁(I-Beam或U-Beam).天花板格子梁；
（2）空调系统：包括空气舱：.过滤器系统.风车等；
(3)隔墙板:包括窗户.门；
（4）地板：包括高架地板或防静电舒适地板；
(5)照明器具:包括日光灯.黄灯等；
无尘室建筑的主体结构一般采用钢筋或骨水泥，但无论采用何种结构，都必须满足以下条件：
A.不会因温度变化和振动而产生裂纹；
B.不易产生粉尘颗粒，且难以附着颗粒；
C.吸湿性小；
D.为维持室内湿度条件，热绝缘性较高；
以上信息概括如下：
①组合式FFU机组
②无尘送风管道
③无尘回风管道
④送风静压箱
⑤高效过滤器
⑥多孔扩散板
⑦无尘室吊顶
⑧无尘室隔断
⑨高效送风口
⑩新风口
03
无尘室的等级
1.世界各国都有自己的无尘室等级规格，但一般使用美国联邦标准209，以下仅209D及209E介绍和比较世界上其他的标准。
2.209E与209D的区别在于209年E表示单位增加了公制单位，无尘室等级为‵M′字头表示，如M1.M1.5.M2.5.M3…..以此类推，配合国际公制单位的标准化，M字母后面的阿拉伯数字是字为>=0.5μm粉尘颗粒的数量以10的幂次方表示，以指数为基础。如果粉尘颗粒的数量介于前后完全幂次方之间，则为1.5.2.5.3.5….表示。
3.美国联邦标准FS209D每立方英尺为英制单位，日本采用公制，即每立方英尺为单位，0.1μm微粒子是计数标准。日本标准的表示法是以日本标准的表示法为基础的。Class1，Class2，Class3……Class8说，的等级是Class1，差则为Class8、以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数。
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无尘室控管工程
1.能去除空气中漂浮的尘粒。
2.可防止产生粉尘颗粒。
3.温湿度控制。
4.压力调节。
排除5.有害气体。
6.结构与隔间的气密性。
7.防静电。
预防8.电磁干扰。
9.考虑安全因素。
10.考虑节能
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无尘室的分类
5.1乱流式(TurbulentFlow)
空气通过空调箱通过风管和无尘室内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，由无尘室两侧的隔断墙板或高架地板回风。气流不是直线运动，而是不规则的乱流或涡流。这种类型适用于1000-100000级的无尘室。
优点：结构简单.系统施工成本，无尘室扩展比较容易，在一些特殊用途场所，可以使用无尘工作台，提高无尘室的等级。
缺点：室内空间的粉尘颗粒漂浮在室内空间，不易排出，容易污染工艺产品。另外，如果系统停止运行并再次激活，往往需要很长时间才能达到需求的无尘度。
5.2层流式(Laminar)
层流空气流向均匀直线移动，空气从覆盖率的过滤器进入室内，由高架地板或两侧隔墙板回风。这种类型适用于无尘室等级需要设定较高的环境。一般无尘室等级为Class1~100。可分为两种类型：
（1）水平层流式：水平空气从过滤器单向吹出，由对面墙的回风系统回风。灰尘随风排出室外，下流侧污染严重。
优点：结构简单，运行后短时间内即可稳定。
缺点：施工成本高于乱流式，室内空间不易扩大。
(2)垂直层流式:房间天花板完全是ULPA过滤器覆盖，空气从上到下吹，可获得较高的无尘度，工艺或工作人员产生的灰尘可迅速排出室外，不影响其他工作区域。
优点：管理方便，运行开始时可在短时间内达到稳定状态，不易受到操作状态或操作人员的影响。
缺点：结构成本高，弹性使用空间难，天花板吊架占用空间大，维修更换过滤器比较麻烦。
5.3复合式(MixedType)
复合式是将乱流式和层流式复合或并用，可提供局部超无尘空气。
(1)无尘隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器覆盖工艺区或工作区，将无尘度等级提高到10级以上，可节省安装运行成本。这种类型需要将操作人员的工作区与产品和机器的维护隔离，以免影响机器的工作和质量，ULSI大多数工艺都采用这种类型。
无尘隧道还有两个优点：A.弹性扩展方便；B.维修设备可在维修区轻松执行。
(2)无尘管道(CleanTube)：包围和净化产品过程中经过的自动生产线，将无尘等级提高到100级以上。由于产品与操作人员和粉尘环境隔离，少量送风可获得良好的无尘度，可节约能源，无需人工自动化生产线。.适用于食品行业和半导体行业。
(3)并装局部无尘室(CleanSpot)：将无尘室1万~1万之间乱流无尘室内产品工艺区的无尘度等级提高到10~1000以上，作为生产用途；无尘工作台.无尘工作棚.无尘风柜就是这样。
无尘工作台：等级Class1~100级。
无尘工作室:为防止静电透明塑料布在乱流无尘室空间内围成小空间，采用独立的无尘工作室HEPA或ULPA而空调送风机组则成为一个比较先进的无尘空间，其等级为10~1000级，高度约2.5米，覆盖面积约10m2以下，四支柱并配有活动轮，可灵活使用。
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无尘室气流的流动
无尘室的无尘度
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