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净化车间的介绍

作者: 点击:307 发布时间:2022-08-09

净化车间是指在一定空间范围内排除空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物,并将室内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声振动和照明、静电控制在一定要求范围内,并给予特殊设计的房间。也就是说,无论外部空气条件如何变化,室内都可以保持原设定的清洁度、温度、湿度和压力。

净化车间的定义

净化车间的主要功能是控制产品(如硅芯片)接触的大气的清洁度和温度和湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产和制造。这个空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化水平主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定的。也就是说,所谓无尘不是没有灰尘,而是控制在非常微量的单位上。当然,与我们常见的灰尘相比,本标准中符合粉尘标准的颗粒非常小,但对于光学结构来说,即使是一点灰尘也会产生很大的负面影响,因此无尘是光学结构产品生产中不可避免的要求。

每立方米将小于0.3微米粒径的粉尘数量控制在3500以下,达到国际无尘标准A级。目前,芯片级生产加工的无尘标准对粉尘的要求高于A级,主要用于一些芯片生产。μm以下粉尘数量严格控制在每立方米1000以内,俗称行业1K级别。


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