无尘室装修完成后的实例环境要求

一种半导体净化车间的洁净度等级标准和半导体特性的要求，决定了它的制造工艺必须具有清洁要求，环境中杂质会改变或破坏半导体特性，而且杂质多种多样，如金属离子等，会破坏半导体器件的导电性，尘埃颗粒破坏半导体器件的表面结构等，因此，在半导体器件生产过程中，必须严格控制哪些方面。该系统可实时检测单位容积空气中的微粒数，而且可实现7*24实时远程自动监控，该系统以其快速、准确的特点，在电子工业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统中得到广泛应用。

在国内自产能源短缺而面临能源消耗日益严重的情况下，如何提升无尘室节能技术，从而提高生产效率和竞争力，是当前无尘室节能技术亟待解决的问题。此外，对于洁净厂房的洁净度定期进行人工巡视，也存在人力资源浪费，为克服人工、费力的不足，可采用CW-RPC系列多通道远距离遥测激光尘埃计数器和远程监控系统，对洁净厂房进行7*24实时的监测，能大大提高工作效率，节约人力成本。

无尘室装修完成后的实例环境要求主要有几个方面：

1.室内环境要保持在一个大气压以上，以确保只有尘埃不能流出。因此需用大型鼓风机，将经过过滤的空气源源不绝地注入洁净室。

2.为了使温度和湿度保持不变，必须将大型空调设备与上述鼓风压力系统相配套。换句话说，鼓风机压力多长时间，冷空气调节也能打开。

3.所有风向都从上向下为主，尽量减少凌乱的室内空间设计或台架布置布置，使洁净室内尘埃回旋停顿的机会和时间降低到低程度。

4.所有建筑材料主要采用的材料是不容易产生静电吸附。

5.人与物的一切出入，都要通过空气吹浴法，先行清除表面灰尘。

6.人体和衣服上的毛屑是一种主要粉尘源，因此必须严格要求出入人员必须穿着无尘衣服，除眼部以外，都必须与外界隔离(在次微米制程技术的工厂里，工作人员几乎都穿得像宇航员。)当然，化妆品是禁止使用的，铅笔之类的东西都是禁止的。

7.除空气外，仅可使用去离子水的水。一是防止水中粉末颗粒污染晶圆，二是防止水中重金属离子，如钾、钠离子污染金氧半(MOS)晶体管结构之带电载通道，影响半导体组件的工作特性。用电阻率来定义去离子水的优劣，一般需要达到17.5MΩ-cm以上才算合格；为此需要用多重离子交换树脂，RO逆渗透，UV，RO逆渗透，与UV紫外线等。因为去离子水是的溶剂和清洁剂，它在半导体工业中的应用非常令人惊讶！

8.洁净室获得的气体来源，包括吹干硅片和机台空气压力所需的气体，必须使用氮气(98%)，吹干晶圆所需的氮气，甚至需要99.8%以上的高纯氮！

青岛励烨达净化工程有限公司主要从事净化工程设计、无尘车间建设、洁净厂房检测工程后期装修、空调通风设备系统设计等。本公司设计承建各类净化厂房、净化车间、无尘车间、无菌室、标准要求、GMP规范要求的洁净厂房系统工程设计、制造、安装、调试、检验等综合配套服务。