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净化工程设备的发展趋势

作者: 点击:399 发布时间:2021-08-11

洁净技术,又称生产环境与污染控制技术,是近二、三十年来随着高新技术的发展而发展起来的一门新型综合科学技术。洁净技术是一项专门研究和提供清洁的生产工艺环境和各种高纯介质,有效控制微量杂质,以确保高新技术产品的成品率和可行性。一般情况下,洁净技术主要有:空气净化技术、空调技术、水净化技术、气体净化技术、微量杂质控制技术、洁净环境监测技术和环境质量控制技术。在诸如电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域和现代科学领域,青岛净化工程技术被广泛应用。

对半导体设备而言,微电子技术中的青岛净化工程施工技术起着举足轻重的作用。微电子学的核心是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。九五期间,我国大力发展以微电子为主的信息产业。在一定意义上,净化工程的技术水平是衡量一个和地区科技水平和工业水平的重要标志。

伴随着人们生活水平的提高,人们对生活环境和生活质量的要求越来越高,用水净化设备生产的高纯水已成为人们的共识,净化工程技术也开始走进千家万户,走进人们现代生活。

国内洁净技术和设备水平与国外先进水平有较大差距,1965年才开始生产HEPA过滤器,比国外落后十五年。一九七五年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚二十年。0.1微米洁净技术与设备在国际上先进已成为成熟技术,我国尚处于起步阶段。

许多工业发达为了适应超净技术的发展,对高效过滤器的研究并未中断,多年来一直在研发不同结构、具有不同性能的新产品,从1979年开始,美国从1979年开始开发0.1微米的ULPA过滤器,1984年美国AAF公司和CAMBRIDGE公司开始生产0.1微米无隔板ULPA过滤器。同时,日本已成为世界上生产0.1微米ULPA过滤器的厂家,品种繁多,产品系列化,特别是0.1微米低压损坏ULPA过滤器的研制成功解决了初阻力大的技术难题。高效率空气过滤器在国际市场上需求量很大,且每年都在增长,目前日本每年销量超过100万台,平均每台200美元,销售额达2亿美元。国内对高效空气过滤器的需求已接近每年10万台,占国际市场的2%~4%,但到目前为止还没有0.1微米的ULPA过滤器生产,0.1微米的ULPA过滤器在超大规模集成电路生产中以及各种高科技领域洁净厂房中所用的ULPA过滤器还需要依赖进口。

我国洁净室建设的规模和技术水平与发达有较大差距。在1982-1987年间,日本清水建筑公司承建的洁净室面积达到718,000平方米,而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米,但在八五期间有了很大的发展,1993年承建洁净室总面积接近15万平方米。而美国洁净室建设规模较大,1998年的统计面积为188.5万平方米。从净化工程水平来看,国外80年代末已大量建成0.1微米级的超净室,1987年,日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米,NIT原木建成了四个1000平方米的洁净厂房,控制0.1微米尘埃。美国TSMCS新厂在台湾建立了第四代管道型洁净室,总面积达10000平方米。国内使用的0,1微米十级洁净室主要依靠进口。因为洁净室洁净等级高,成本非常昂贵,0.1微米十级洁净室每平方米造价高达一万美元以上。洁净厂房在大规模集成电路制造设备投资中所占的比例相当高,这与集成电路工艺不断更新,产品更新换代周期越来越快的趋势不相适应,严重制约了大规模集成电路技术的发展。近几年,美国ASYST公司、德国MW公司开发的采用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术。该项目是一项的洁净技术,在100级洁净厂房中,利用工艺设备局部隔离技术的微环境,将投资比例压缩到高层次微环境中,消除了二次污染源对集成电路的成品率和可及性的影响。

青岛净化工程设备的市场是巨大的,80年代末90年代初,日本洁净技术和设备的销售额已经突破35亿美元。在一些发达,例如美国和西欧,已经实现了73亿美元的洁净设备和基础部件的销售。根据中国电子专用设备行业协会统计,1990年全国八大净化设备厂销售额为8217万元,还不到1亿元;1993年达到14495万元,占国际市场销售额的0.34%。而随着我国高新技术的飞速发展,以及微电子行业、光纤行业、液晶显示器行业、光电器件行业、生物工程、医药等行业的发展,我国洁净技术产品的潜在市场正以每年40%~50%的速度增长。

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