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净化车间工作正常所进行的必要测试——气流

作者: 点击:337 发布时间:2021-07-09

检查净化车间工作正常所进行的各项测试中,其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染,从而防止污染在室内的积累,室内必须有充分的气流流动。所以对气流必须进行检测。

在紊流洁净室中,风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚,无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。

在单向流净化车间中,为保证关键区域达到洁净的水平,其送风直接来自高效过滤器。

净化车间施工时垂直层流式方向要保持均一气流必须:

(1)吹出面的风速不可有速度上的差异;

(2)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间

影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。

净化车间一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

净化车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少;组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。


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